ኬሚካላዊ-ሜካኒካል ማጥራት (ሲኤምፒ) ብዙውን ጊዜ በኬሚካላዊ ምላሽ ለስላሳ ንጣፎችን ከማምረት ጋር ይሳተፋል በተለይም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ኢንዱስትሪ ውስጥ ይሰራል።Lonnmeterበመስመር ላይ የማጎሪያ ልኬት ላይ ከ20 ዓመታት በላይ ልምድ ያለው የታመነ ፈጣሪ፣ ዘመናዊውን ያቀርባልየኑክሌር ያልሆኑ ጥግግት ሜትርእና viscosity ዳሳሾች የዝላይ አስተዳደር ችግሮችን ለመፍታት።
የስሉሪ ጥራት እና የሎንሜትሪ ባለሙያ አስፈላጊነት
የኬሚካላዊ ሜካኒካል ማጽጃ ዝቃጭ የሲኤምፒ ሂደት የጀርባ አጥንት ነው, የንጣፎችን ተመሳሳይነት እና ጥራት ይወስናል. ወጥነት የሌለው ዝቃጭ ጥግግት ወይም viscosity እንደ ማይክሮ-ቧጨራዎች፣ ያልተስተካከለ ቁስ ማስወገድ ወይም ንጣፍ መዘጋትን፣ የዋፈር ጥራትን የሚጎዳ እና የምርት ወጪን ወደ ጨምር ጉድለቶች ሊያመራ ይችላል። በኢንዱስትሪ የመለኪያ መፍትሄዎች ዓለም አቀፋዊ መሪ የሆነው Lonnmeter ፣የተመቻቸ የዝላይት አፈጻጸምን ለማረጋገጥ የመስመር ላይ ዝቃጭ ልኬትን ልዩ ያደርገዋል። አስተማማኝ እና ከፍተኛ ትክክለኛ ዳሳሾችን በማቅረብ የተረጋገጠ ልምድ ያለው ሎንንሜትር የሂደቱን ቁጥጥር እና ቅልጥፍናን ለማሳደግ ከዋና ሴሚኮንዳክተር አምራቾች ጋር በመተባበር አጋርቷል። የእነሱ የኒውክሌር ያልሆኑ ዝቃጭ መጠገኛ ሜትሮች እና viscosity ዳሳሾች የቅጽበታዊ ውሂብን ይሰጣሉ፣ ይህም የዝቅታ ወጥነት እንዲኖረው እና የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻውን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት ትክክለኛ ማስተካከያዎችን ያስችላል።
በከፍተኛ ሴሚኮንዳክተር ኩባንያዎች የታመነ በመስመር ውስጥ የማጎሪያ ልኬት ውስጥ ከሁለት አስርት ዓመታት በላይ ልምድ። የሎንሜትሪ ዳሳሾች ያልተቆራረጠ ውህደት እና ዜሮ ጥገና ለማድረግ የተነደፉ ናቸው, የአሰራር ወጪዎችን ይቀንሳል.የተወሰኑ የሂደት ፍላጎቶችን ለማሟላት የተዘጋጁ መፍትሄዎች, ከፍተኛ የዋፈር ምርትን እና ተገዢነትን ማረጋገጥ.
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ ሚና
ኬሚካኒካል ሜካኒካል ፕላኔሽን ተብሎ የሚጠራው ኬሚካዊ ሜካኒካል ፕላኔሽን (CMP) የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የማዕዘን ድንጋይ ሲሆን ይህም ለላቀ ቺፕ ምርት ጠፍጣፋ እንከን የለሽ ንጣፎችን መፍጠር ያስችላል። የኬሚካል ማሳከክን ከሜካኒካል ጠለፋ ጋር በማጣመር የCMP ሂደት ከ 10nm በታች ባሉ አንጓዎች ላይ ባለ ብዙ ሽፋን የተቀናጁ ወረዳዎች የሚያስፈልገውን ትክክለኛነት ያረጋግጣል። ከውሃ፣ ከኬሚካል ሬጀንቶች እና ከጥቅም ውጭ በሆኑ ቅንጣቶች የተዋቀረው ኬሚካላዊው ሜካኒካል ማጽጃ ዝቃጭ ከፖሊሽንግ ፓድ እና ዋይፈር ጋር በመገናኘት ንብረቱን አንድ በሆነ መልኩ ያስወግዳል። ሴሚኮንዳክተር ዲዛይኖች እየተሻሻሉ ሲሄዱ፣የሲኤምፒ ሂደት ውስብስብነት እያጋጠመው ነው፣ ጉድለቶችን ለመከላከል እና በሴሚኮንዳክተር ፋውንድሪስ እና የቁሳቁስ አቅራቢዎች የሚፈለጉትን ለስላሳ እና የተጣራ ዋይፎች ለማሳካት በተንጠባጠቡ ንብረቶች ላይ ጥብቅ ቁጥጥርን ይፈልጋል።
5nm እና 3nm ቺፖችን በትንሹ ጉድለቶች ለማምረት ሂደቱ አስፈላጊ ነው፣ ይህም ተከታይ ንብርብሮችን በትክክል ለማስቀመጥ ጠፍጣፋ ንጣፎችን ያረጋግጣል። ጥቃቅን የዝቅታ አለመጣጣም እንኳን ወደ ውድ ድጋሚ ሥራ ወይም ወደ ኪሳራ ሊያመራ ይችላል።
ስሉሪ ንብረቶችን በመከታተል ላይ ያሉ ተግዳሮቶች
በኬሚካላዊ ሜካኒካል ማቅለሚያ ሂደት ውስጥ ወጥነት ያለው የዝቅታ ጥግግት እና viscosity መጠበቅ በተግዳሮቶች የተሞላ ነው። እንደ ማጓጓዝ፣ በውሃ ወይም በሃይድሮጅን ፓርሞክሳይድ መሟሟት፣ በቂ ያልሆነ ድብልቅ ወይም የኬሚካል መበላሸት በመሳሰሉት ነገሮች ምክንያት የስብስብ ባህሪያት ሊለያዩ ይችላሉ። ለምሳሌ፣ በቆሻሻ መጣያ ጡጦዎች ውስጥ ቅንጣትን ማስተካከል ከታች ከፍ ያለ መጠጋጋትን ያስከትላል፣ ይህም ወደ ወጥ ያልሆነ ማቅለሚያ ይመራል። እንደ ፒኤች፣ ኦክሲዴሽን-መቀነሻ አቅም (ኦአርፒ) ወይም ኮንዳክሽን ያሉ ባህላዊ የክትትል ዘዴዎች ብዙውን ጊዜ በቂ አይደሉም፣ ምክንያቱም በድብቅ ስብጥር ላይ ስውር ለውጦችን ማግኘት ባለመቻላቸው። እነዚህ ገደቦች ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ የማስወገጃ ዋጋዎችን ይቀንሳሉ እና ለፍጆታ የሚውሉ ወጪዎችን ይጨምራሉ፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አምራቾች እና ለሲኤምፒ አገልግሎት አቅራቢዎች ከፍተኛ አደጋዎችን ይፈጥራል። በአያያዝ እና በማሰራጨት ወቅት የአጻጻፍ ለውጦች በአፈፃፀም ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ. ከ10nm በታች የሆኑ አንጓዎች በንፁህ ንፅህና እና ድብልቅ ትክክለኛነት ላይ ጥብቅ ቁጥጥር ያስፈልጋቸዋል። ፒኤች እና ኦአርፒ አነስተኛ ልዩነት ያሳያሉ፣ ነገር ግን ቅልጥፍና ከእርጅና ጋር ይለያያል። በኢንዱስትሪ ጥናቶች ውስጥ የማይጣጣሙ የንዝረት ባህሪያት ጉድለቶችን እስከ 20% ሊጨምሩ ይችላሉ.
የሎንሜትሪ የመስመር ላይ ዳሳሾች ለእውነተኛ ጊዜ ክትትል
Lonnmeter እነዚህን ፈተናዎች በላቁ የኒውክሌር-ያልሆኑ slurry density ሜትሮች እናviscosity ዳሳሾችለውስጠ-መስመር viscosity መለካት እና ለአልትራሳውንድ ትፍገት መለኪያ በአንድ ጊዜ የንዝረት ጥግግት እና viscosity ክትትልን ጨምሮ viscosity ሜትር መስመርን ጨምሮ። እነዚህ ዳሳሾች ወደ CMP ሂደቶች እንከን የለሽ ውህደት የተነደፉ ናቸው፣ የኢንዱስትሪ ደረጃ ግንኙነቶችን ያሳያሉ። የሎንሜትር መፍትሄዎች ለጠንካራ ግንባታው የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት እና ዝቅተኛ ጥገና ይሰጣሉ. ቅጽበታዊ መረጃ ኦፕሬተሮች የተዳቀሉ ውህዶችን እንዲያስተካክሉ፣ ጉድለቶችን እንዲከላከሉ እና የጽዳት አፈጻጸምን እንዲያሳድጉ ያስችላቸዋል፣ ይህም እነዚህን መሳሪያዎች ለመተንተን እና ለሙከራ መሳሪያዎች አቅራቢዎች እና ለሲኤምፒ ፍጆታ አቅራቢዎች አስፈላጊ ያደርጋቸዋል።
ለሲኤምፒ ማመቻቸት ቀጣይነት ያለው ክትትል ጥቅሞች
በLonnmeter's inline sensors ቀጣይነት ያለው ክትትል ተግባራዊ ግንዛቤዎችን እና ከፍተኛ ወጪን በመቆጠብ ኬሚካላዊውን ሜካኒካል የማጥራት ሂደትን ይለውጣል። የእውነተኛ ጊዜ ዝቃጭ ጥግግት መለካት እና viscosity ክትትል እንደ ቧጨራ ወይም ከመጠን በላይ መጥረግ ያሉ ጉድለቶችን እስከ 20% ይቀንሳል፣ በኢንዱስትሪ መለኪያዎች መሰረት። ከ PLC ስርዓት ጋር መቀላቀል አውቶማቲክ የመድኃኒት መጠንን እና ሂደትን ለመቆጣጠር ያስችላል፣ ይህም የፍሳሽ ንብረቶች በጥሩ ክልል ውስጥ እንዲቆዩ ያደርጋል። ይህ ለፍጆታ የሚውሉ ወጪዎች ከ15-25% መቀነስ፣ የመቀነስ ጊዜን መቀነስ እና የተሻሻለ የዋፈር ተመሳሳይነት ያስከትላል። ለሴሚኮንዳክተር ፋውንዴሪስ እና የሲኤምፒ አገልግሎት አቅራቢዎች፣ እነዚህ ጥቅሞች ወደ የተሻሻለ ምርታማነት፣ ከፍተኛ የትርፍ ህዳጎች እና እንደ ISO 6976 ያሉ መመዘኛዎችን ወደ ማክበር ይተረጉማሉ።
በCMP ውስጥ ስለ ስሉሪ ክትትል የተለመዱ ጥያቄዎች
ለምንድነው የደለል እፍጋት መለኪያ ለሲኤምፒ አስፈላጊ የሆነው?
የዝውውር ጥግግት መለካት ወጥ ቅንጣት ስርጭት እና ድብልቅ ወጥነት ያረጋግጣል፣ ጉድለቶችን በመከላከል እና በኬሚካላዊ ሜካኒካዊ የጽዳት ሂደት ውስጥ የማስወገድ መጠኖችን ያመቻቻል። ከፍተኛ ጥራት ያለው የዋፈር ምርት እና የኢንዱስትሪ ደረጃዎችን ማክበርን ይደግፋል።
የ viscosity ክትትል የCMP ቅልጥፍናን የሚያሳድገው እንዴት ነው?
Viscosity ክትትል ወጥነት ያለው የዝቅታ ፍሰትን ይይዛል፣ እንደ ንጣፍ መዘጋትን ወይም ያልተስተካከለ ፖሊሽን ያሉ ችግሮችን ይከላከላል። የLonnmeter's inline sensors የCMP ሂደትን ለማሻሻል እና የዋፈር ምርትን ለማሻሻል የእውነተኛ ጊዜ መረጃን ይሰጣሉ።
የሎንሜትሩን የኒውክሌር-ያልሆኑ slurry density ሜትሮችን ልዩ የሚያደርገው ምንድን ነው?
የሎንሜተር የኑክሌር ያልሆኑ የዝውውር መጠገኛ ሜትሮች በአንድ ጊዜ የመጠን እና የ viscosity መለኪያዎች በከፍተኛ ትክክለኛነት እና ዜሮ ጥገና ይሰጣሉ። የእነርሱ ጠንካራ ንድፍ በሚጠይቁ የCMP ሂደት አካባቢዎች ውስጥ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል።
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የኬሚካላዊ ሜካኒካል ማጣሪያ ሂደትን ለማመቻቸት የእውነተኛ ጊዜ የዝቃጭ መጠን መለኪያ እና የቪዛነት ክትትል ወሳኝ ናቸው። የሎንሜተር የኑክሌር ያልሆኑ የዝውውር ሜትሮች እና viscosity ዳሳሾች የሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች አምራቾች፣ ሲኤምፒ የፍጆታ ዕቃዎች አቅራቢዎች እና ሴሚኮንዳክተር ፋውንዴሪስ የተዘበራረቀ የአስተዳደር ፈተናዎችን ለማሸነፍ፣ ጉድለቶችን ለመቀነስ እና ዝቅተኛ ወጭዎችን ያቀርባሉ። ትክክለኛ እና ቅጽበታዊ መረጃዎችን በማቅረብ፣ እነዚህ መፍትሄዎች የሂደቱን ቅልጥፍና ያሳድጋሉ፣ ተገዢነትን ያረጋግጣሉ፣ እና በተወዳዳሪ CMP ገበያ ውስጥ ትርፋማነትን ያበረታታሉ። ጎብኝLonnmeter ድር ጣቢያወይም Lonnmeter የእርስዎን ኬሚካላዊ ሜካኒካል የማጥራት ስራዎችን እንዴት እንደሚለውጥ ለማወቅ ዛሬ ቡድናቸውን ያነጋግሩ።
የፖስታ ሰአት፡- ጁላይ-22-2025
